二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9190377 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2是為光學光刻應用而設計的光刻設備。它是一種基於激光幹涉儀的高端光學光刻系統，能夠產生0.8微米以下的特征尺寸。該單元旨在將高分辨率成像工具應用於從半導體、顯示器、高級封裝到微電子封裝等多種應用。它包括一個成像頭、一個自動化階段以及一個用於控制和優化曝光過程的復雜軟件包和硬件。成像頭作為用戶的主要界面，由連續波紫外線激光光學耦合到透射X/Y掃描級組成。基於激光幹涉儀的機器能夠將掩模或晶片精確地反復定位到幾百毫米以上的2微米以內。該工具還可以動態調整舞臺位置，以優化成像過程。自動化級是一個高度精確的機動化級,分辨率降至0.2微米。它具有原位加熱和冷卻的能力，提供了超過人類提供的精度水平。該級包括用於光學尋址X/Y掃描級的堅固靈活的驅動機構。MICROTEC Delta 80T2配備了先進的軟件包，可以讓用戶控制曝光過程，優化圖像質量。該軟件包括傳統和高級光刻應用的處方，並提供了廣泛的曝光參數設置。此外,用戶還可以訪問大型的配方庫和可定制的配方庫,以用於專門的流程應用程序。KARL SUSS Delta 80T2能夠根據特定應用處理不同的暴露水平和暴露時間。它提供了許多工具，用於在資產運行時測量、監視和測量流程參數。它還能夠進行數據記錄和報告,以便分析特定進程的結果。綜上所述，Delta 80T2是為光學光刻應用而設計的高端型號。它提供了高達0.2微米的高精度，能夠運行傳統和先進的光刻應用。其可靠的驅動器系統和高級軟件包確保用戶能夠充分利用其流程。