二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon VS11626 #9114639 待售
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ID: 9114639
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Photolithography line system, 8"
(2) Cold plates
(5) Hot plates
(2) WAFERTEC Pumping systems
Robotic arm
Control box
1997 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626是為生產和處理光刻應用而設計的光刻設備。該系統能夠塗覆、成像和顯影尺寸不超過16英寸的晶片。MICROTEC Falcon VS11626利用變速旋轉,並包含完全可編程的對齊方式,以實現各種不同光刻應用的高質量和可重復結果。該裝置采用真空密封室，可優化氣壓、溫度和濕度，提供極為一致的處理環境。該機還提供了提高工藝產量和均勻性的掃視入射能力，以及有助於可重復使用的板上溫度控制。為了在光刻過程中達到最佳精度，該工具還配備了濕式噴霧器，用於施用硬質或軟質烘烤、顯影劑或抗蝕劑等化學品。此外,KARL SUSS Falcon VS11626還配備了一個手動臂來定位晶片,可以在x、y和z方向進行校準。在成像方面,資產能夠快速一致地創建高度詳細的圖像。它通過強大且可重復的機動化對準過程提供一致且可重復的成像,每小時可實現510個晶圓。這種機動化成像非常精確，因為它能夠產生0.1µm的分辨率。獵鷹VS11626還具有內置的清潔模型。該設備采用臨界氣相沈積（CVD）技術，從晶圓的塗層表面去除顆粒。它還配備了一個清潔籃子，可以在系統內外清洗晶片。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626是一個強大可靠的光阻裝置，旨在產生高質量和可重復的結果。該機器具有強大的電動對準工具和精確的成像功能,能夠塗覆、成像和開發尺寸不超過16英寸的晶片。此外，資產還具有內置清洗模型和用於定位晶片的手動臂。
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