二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #293652799 待售

KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款高性能的光阻（PR）設備，旨在為光掩模和半導體器件的生產提供先進的特性。該系統配備了一個大的真空浮動塗層頭，能夠在單個基板上塗覆多達三種不同的抗蝕劑，包括幹膜光刻膠、旋轉光刻膠和液體光刻抗蝕劑。地下加熱裝置提供均勻的溫度控制和高度均勻的抗性塗層。高分辨率曝光是通過激光幹涉儀與機器光軸對準來實現的。探測器平面可以調整到光軸的5微米以內。閉環曝光基板級控制可確保高度重復的光刻工藝。該工具還能夠處理復雜的螺距和高長寬比，這對於先進的光刻是必不可少的。該資產通過同時對準光掩模和基板來提供最佳成像,從而允許以最小的位置位移將圖樣臨界對準基板。這一特點確保了結構的精確打印到基板上的高精度。MICROTEC Falcon是一種高度通用的型號,具有方便用戶的軟件,便於安裝設備。它允許單步光刻工藝，消除了在實際曝光前進行預先想象等多個步驟的需要。此功能可節省時間並提高生產吞吐量。該系統包含的最先進的軟件包括多級預置、多步抗沖優化、高級掩碼校正、自適應模式識別以及步驟和重復光刻設置等功能。該單元還能夠處理高級打印要求。它包括光學灰度生成和可調節的薄膜反向偏置等特殊特征，用於二進制和相移掩模曝光。此功能為不同的應用提供了各種各樣的處理組合。KARL SUSS Falcon是一款先進的光刻機床，為口罩和設備生產提供了廣泛的功能。它為精確的圖樣印刷提供了精確和可重復的光刻工藝，並暴露了廣泛的光掩模類型。該工具具有先進的軟件和精確的控制，是先進基材加工的絕佳選擇。