二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9211225 待售

KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款高性能、靈活的光刻設備，用於先進的直接成像和晶圓塗層解決方案。它由一個用戶友好、模塊化和高度復雜的平臺組成,具有先進的機器人技術,可實現精確的對齊、處理序列的完全自動化和高精度的結果。MICROTEC Falcon系統利用頂尖的光學器件、激光器和光光器件，產生幾乎完美的低至25nm或以下的圖樣，並且能夠批量處理直徑從3到8英寸的基板。行業領先的光刻塗層晶片配方以嚴格的標準為基礎，提供高吞吐量、可靠的生產，易於再現。該單元包括一臺用於檢測光束消隱的高分辨率600萬像素相機和一臺允許圖像處理、晶圓對準和粒子分析的高分辨率視頻顯微鏡。自動曝光托架使光致抗蝕劑能夠準確、一致地曝光,典型的覆蓋均勻度為0.1-0.2微米或更高。集成的Opticron對準級提供了一個七軸對準機，而一個樣本計量工具使得一個令人難以置信的精確和可靠的過程窗口。一個Nion微波加速器位於上遊，不需要高水平的工藝改進，允許更快的工藝時間和更高的分辨率。KARL SUSS Falcon資產還具有集成自動化功能,可用於3D特征檢測、智能臂技術以及優化吞吐量的晶圓處理系統。最後,互鎖確保腔室達到處理敏感材料（如潔凈室環境）的標準,有助於提高制造過程的效率和控制。Falcon模型將先進的光刻技術推向了一個新的高度，擁有不銹鋼平臺和集成的機器人設備，使其非常適合行業標準的光刻應用。它能夠加工尺寸達8英寸的基板，而且它是世界知名的精確度，使得它成為要求苛刻的光刻應用的絕佳選擇。