二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9247695 待售

KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一種設計用於制造微型和納米機電系統（MEMS和NEMS）的光阻設備。該系統包括一個3軸級的內置真空單元和一個模塊化的架子可安裝的光學平臺。它配備了高精度的微核維光學機器，提供高達100 nm的精度和可重復性，以及0.6um分辨率的數字Z軸掃描儀。它還配備了高速激光晶圓scriber，以提高精度、速度和生產率。MICROTEC Falcon擁有高速機動Z-Axis，可進行高達5nm/s的移動。它用戶友好,具有觸摸屏用戶界面和多語言選項。易於使用的界面提供各種預定義設置的上下速度選擇，並允許對復雜的3D模式進行編程。KARL SUSS Falcon設計用於處理厚度均勻、從厚到薄不等的多重抗性類型。內置的旋轉卡盤工具通過自動頂部/底部塗層功能自動調整到適當的基板高度。兩軸晶圓對齊資產的對齊方式可以調整到任何深度和寬度。該型號支持從10-7到102 torr的各種真空水平，允許高質量的加工和長期維護。自動真空產生保證了最佳真空壓力，而內置脫氣設備則通過防止短時間的變化來維持檢流計的運行。該系統還配備了氣體減震器，減少了外部源產生的振動，從而在光刻膠曝光過程中獲得了更好的精度。獵鷹的設計考慮到了最高的安全標準，滿足所有適用的CE要求。該裝置的設計采用大多數標準安全協議,如鎖定/標記、危險材料處理和EPA/OSHA要求。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款用途廣泛、可靠的光刻機，旨在滿足微型和納米機電系統行業制造商的需求。