二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #293828179 待售
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ID: 293828179
晶圓大小: 4"-6"
Automatic coater system, 4"-6"
Robot type: GENMARK 4S0401013
(2) IO Ports
(2) Hot plates
Cool plate
HMDS Module
(3) Bellow pumps
Spin coating station
Developer station.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60光抗蝕劑設備與任何標準半導體工藝線接口,能夠生產具有微米級精度和分辨率的復雜微觀結構。該系統采用緊湊、模塊化的設計，融合了世界上最先進的電子束圖樣和抗加工技術。這樣可以實現無與倫比的陣列質量和關鍵特征控制,實現最高的均勻性和最精確的叠加對齊。MICROTEC Gamma 60采用大面積階段，提供大面積曝光場，非常適合大芯片生產。此外,集成設計允許設備完全遠程運行,並確保最大程度的操作員安全。該機為芯片設計提供了出色的分辨率，具有高速光束遮擋功能，可縮短曝光時間。此外,它還提供了卓越的聚焦精度和現場深度校正,允許制造具有所需深度的多層。KARL SUSS Gamma 60利用高對比度程序員來確保最精確的特征分辨率和關鍵維度（CD）控制。它還具有廣泛的工藝參數，如暴露劑量和焦距，可以遠程調整，提供簡單可靠的工藝優化。該工具具有直觀的用戶界面，便於引導電子束和控制過程參數以獲得最佳效果。Gamma 60還有一個先進的光學資產，它提供晶圓的直接目視檢測，用於實時缺陷檢測。KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60產生了令人難以置信的穩定和可重現的圖像,非常適合重復的生產環境。此外,該模型還得到了全面的文檔和技術支持,確保了最高的性能和可靠性。
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