二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #9165079 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60光抗蝕劑設備是一種用於多種光刻工藝的掩模對齊器。MICROTEC Gamma 60以其可調、高精度的表處理不同的基板尺寸和厚度。該系統配備了先進的步進電機，用於精確定位基板。它具有5 μ m的可重復性和每秒120步的最高速度。工作區域是為大尺寸的基材（如晶圓和基材）的曝光而設計的，直徑可達4英寸。KARL SUSS Gamma 60具有用於精確對準光掩模和基板的高級級單元。其出色的機械穩定性允許大量曝光時間，也保證了衍射光柵的高精度定位，從而保證了光刻質量。先進的光刻機具有微處理器控制的曝光能力。Gamma 60是一種多功能工具,它通過結合光刻、烘烤、洪水暴露和接觸功能,提供卓越的效率。資產的曝光照明模式配備了光源的連續、異步和自動定位，以提供統一曝光。此外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60還具有高精度圖樣發生器等先進功能，使用戶能夠數字化各種基板，包括不同類型的光掩模、衍射光柵、分辨率圖和其他用於光刻的物體。MICROTEC Gamma 60是為光刻工藝設計的有效精密掩模對準器。其微處理器控制的曝光能力、可調級設備以及先進的模式發生器提供了卓越的精度和可靠性。KARL SUSS Gamma 60配備了高度可靠和精確的步進電動機和廣泛的曝光光源，從而允許高精度的光刻工藝產生質量結果。