二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80 #9269957 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80是為微加工應用而設計的最先進的光刻設備。該系統采用紫外線敏感光刻膠與長波長光刻曝光源的組合，在光刻膠材料中產生高質量的圖像。MICROTEC Gamma 80所使用的曝光源是在365nm範圍內工作的10mJ長波長激光，幾乎是傳統基於ArF的系統波長的兩倍。這樣可實現較小的特征尺寸,最大線寬可能為10nm。同時，這也允許對光阻過程所需的曝光時間和能量進行更大的控制。KARL SUSS Gamma 80單元在光敏材料上成像時的最大分辨率為5.5 μ m，光學對準精度為5 μ m。這確保了可以在光刻膠中創建高分辨率的圖樣，從而可以在微量級和納米級制造復雜的器件或組件。更具體地說,Gamma 80允許沈積和光刻厚度最大為20 SU-8 m的厚μ光刻膠和厚度最大為0.45 μ m的可鑄造的Ultra-Thin （Ultra-Thin）光刻膠。該機還有一個集成的薄膜，有助於在暴露過程中保護底物。此外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80還提供多種清潔室解決方案，如自動光刻膠紡紗和烘烤，導致光刻膠工藝簡化和精確。這些解決方案允許更大的過程一致性和統一性,從而產生高產結果。最後，MICROTEC Gamma 80提供了一個高級軟件包來控制過程。該軟件允許對刀具參數進行全面監控和調整，包括激光功率、曝光時間和其他高級參數。該軟件還提供了一組用戶友好的工具，可用於快速調整資產設置和查看圖像，從而實現快速、輕松的操作。總而言之，KARL SUSS Gamma 80是一款先進而強大的光刻膠模型，提供高分辨率成像、自動化工藝和先進軟件，幫助實現光刻膠材料中復雜圖案的生產。