二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C #9210359 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80C光刻設備是一種專為微電子生產而設計的浸泡曝光工具。它具有廣泛的曝光能力,適用於從4「到8」直徑的各種光刻膠技術,以及從6毫升到250毫升的軟性和硬質耐蝕劑配置,適用於各種供應商。MICROTEC Gamma 80C有一個400毫米寬的掃描床和一個帶有可選冷卻單元的自動化晶圓處理系統。其特點包括窄場曝光、現場縫合、多場曝光，以實現更快的吞吐量和更大的晶圓尺寸。此外，KARL SUSS Gamma 80C有一個有限的條碼識別單元，使得曝光設置的程序化變化能夠適應不同的光刻任務。Gamma 80C既配備了專用的激光自動對準器，也配備了能精確控制單個晶圓多個區域內劑量水平的曝光控制機。此外,該工具還具有一整套軟件和控件,這些軟件和控件是設置和自動化成功的曝光過程所必需的,包括參數配置、模擬和診斷。KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80C利用固場光束均勻性校正工具提供可重復、一致的打印。與動態灰度校正算法結合使用時，通過微調曝光前參數和控制劑量均勻性，提高了曝光形狀的準確性和可重復性。MICROTEC Gamma 80C還有一個內置的集成光束監控模塊，提供關於曝光性能和過程穩定性的反饋。此反饋允許即時調整以優化結果,並提供實時過程控制的在線數據。最後，KARL SUSS Gamma 80C是光刻在安全印刷、精細工業紡織品、印刷電路板等精密光刻工作中應用的終極工具。它的準確性、可重復性和自動化選項使其成為任何光刻材料的理想選擇。