二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293585692 待售

KARL SUSS / MICROTEC Gamma
ID: 293585692
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 2009
Developer systems, 4"-6" 2009 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種光刻設備,它結合了高端性能和靈活性,能夠為各種微加工應用制作復雜而細膩的圖案。該系統面向二維和三維結構的發展,表面粗糙度降至三納米,這對於設備小型化至關重要。該單元具有極高精度的8軸運動級與可變角條耦合,允許處理多種材料。它還提供了全方位的背景照明設置,允許使用紫外線、電子束、i-line和kr+波長進行處理。該機的分辨率和準確度還可用於高清光刻應用,如光掩模制造、電路和部件維修、表面安裝組件、MEMS和NEM設備生產、蝕刻和聚合物納米加工。MICROTEC Gamma還提供了許多先進技術。其集成的3D掃描軟件使X、Y和Z軸中復雜的三維圖像能夠對齊。它還提供了一個可配置的多層特征,允許將多個光刻步驟集成到單個工藝中。這樣就不需要單獨調整和定位。此外,KARL SUSS Gamma還具有集成的過程控制工具,它允許跨一系列參數對過程進行實時優化。這包括暴露劑量、暴露後過程和烤箱溫度。該資產的硬件和軟件也易於升級和定制,以適應不斷變化的模式,允許制造具有卓越表面質量、線條邊緣粗糙度和精細特征的結構。Gamma模型通過其用戶友好的ID集成和易於使用的軟件,為制造過程提供了許多優勢,從提高生產率和提高產品質量到節省成本。憑借其最先進的設計和尖端技術,KARL SUSS/MICROTEC Gamma可以幫助滿足最苛刻的微加工應用的需求。
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