二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293586448 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是用於精密光刻的最先進的光刻設備。MICROTEC Gamma是一種全自動系統，生產高質量、可重復的鏡片和口罩，精確度高。它提供了廣泛的功能,包括曝光、開發和沖洗操作。KARL SUSS Gamma利用XUV Hg-Cd-Ar燈形式的大功率光源，可以以單燈或雙燈配置操作。XUV燈的波長範圍從248 nm到488 nm，產生高曝光能量，用於精確可靠的曝光。伽瑪還使用可編程變焦光學器件進行精確的圖樣曝光。KARL SUSS/MICROTEC Gamma的主動曝光區域為300 mm x 300 mm，最大放大倍數為5 x。這樣可以確保準確的陣列放置和出色的可重復性。曝光過程由完全集成的實時軟硬件單元控制。這包括可編程曝光階段、高精度曝光控制器和高響應性曝光過濾系統。開發和沖洗作業由一個綜合種植者單位處理。這個單元配備了自旋顯影劑，可以針對各種工藝條件和材料編程到暴露的區域。沖洗裝置也由計算機控制，提供對過程的精確控制，以獲得一致的結果。MICROTEC Gamma可以連接到網絡，使其與過程控制和質量保證軟件兼容。這使用戶能夠實時監控和調整流程。此外，KARL SUSS Gamma被認證可以使用多種材料，包括聚合物、陶瓷和金屬。總體而言，Gamma提供了一個先進的，可靠的光刻機，提供精確的結果具有高度的準確性和可重復性。它是許多光刻和微加工應用的理想選擇。