二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605208 待售
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ID: 293605208
優質的: 2015
Spin coater
Back side cleaning
(2) Spray coaters
(2) HMDS Chambers
(2) Cool plates
No hotplate
2015 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種光刻設備,一種計算機管理的設備,用於微加工和半導體制造。該裝置適用於多種工藝,包括高端光刻和光刻,以及質量控制和晶圓驗證。該系統采用高分辨率光學單元和各種工藝、真空、安全特性,提供優異的效果。它專為成本效益、可靠性和可重復性而設計,非常適合生產微觀和納米結構。MICROTEC Gamma機由兩個單元組成:主處理器和幀單元。主處理器支持工具的編程、控制和操作。它包括一個觸摸感應液晶顯示屏和一個USB端口,還配備了一個由二十塊可拆卸的基準板組成的穿梭陣列,用於微光刻工藝。框架單元具有高分辨率的光學資產,能夠以高精度執行一系列光刻過程。這些包括光刻、掩模對準、計量和基於蝕刻的圖樣。光學元件的最大分辨率為0.23微米。此外,該單元還具有真空室、壓力傳感器和安全鎖模型,可保護用戶免受不必要的光線或振動影響。該設備還有一個軟件庫,提供用於運行和管理系統的命令,以及一個能夠使用其他軟件組件的插件結構。該設備有一個內置的掩碼讀取器模塊,允許用戶通過USB設備傳輸設計數據以進行進一步處理。KARL SUSS Gamma光刻機是一種可靠且經濟高效的工具,具有極好的精度和可重復性。其先進的功能,如高分辨率光學器件、真空室、安全鎖和內置軟件庫,為用戶提供高效、成功的光刻和微加工所需的信息和控制。
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