二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605209 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一款光刻設備，設計用於支持先進的微加工、光刻和光學應用。它由各種組件組成，如紫外線輻射源、光學表和精確定位系統，它們提供了適合微觀和納米結構生產的環境。紫外線光源功率強度和波長微調，光譜範圍從100 nm到500 nm。它提供了減少曝光時間和獲得更高分辨率模式的350mW/cm2。該光源適用於電阻和非電阻光刻材料，允許廣泛的應用可能性。光學臺由表面較大的鋁或鋼結構組成，激光切割到低於1 µm的平坦度，允許在光刻操作中對光學元件進行極其精確的定位。它安裝在一個可調的鋼底座上，支撐能力高達200公斤，因此在暴露期間提供了更好的穩定性。精密定位單元由兩個高精度微米頭組成，每個微米頭的運動範圍為5mm。通過獨立控制每個微米頭的運動，可以實現各種定位高度精確的微結構和納米結構。MICROTEC Gamma還包括各種附加配件，以方便生產過程。其中包括用於連接光掩模的底板和框架、用於對齊基板和掩模的舞臺、真空卡盤以及用於搜索模式的可移動舞臺。總體而言，KARL SUSS Gamma提供了一個非常適合生產精密到納米級的微觀和納米結構的環境。其光學穩定的技術，快速的曝光時間，以及多種配件使得這臺機器適合先進的光刻應用。