二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605215 待售
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單擊可縮放
ID: 293605215
優質的: 2008
Spin coater
Spin coater module
Spray coater module
Developer module
Control panel
Load ports
SANKYO Robot
HMDs tool
Slot centering tool
Media cabinets
Pressure control
Media cabinets: Tank System
JULABO Temperature controller
Anlagen PC
Operating system: Windows 7
Temperature stack:
Hot plate
Cold plate
2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一款光刻設備，旨在為先進的微加工工藝提供最高精度和精確度。該系統是生產精細、高分辨率光敏結構的高精度可靠平臺。MICROTEC Gamma配備了機械臂、高精度線性級、自動8 「x 12」晶片加載單元以及高放大倍率、全場圖像捕獲能力。該機設計為每小時最高處理350晶圓，同時保持高度的精確度和可重復性。光致抗蝕劑工藝利用紫外線輻射在晶片上達到所需的結構。縮放控制允許用戶更改光學工具的放大倍數和曝光時間。接觸資產由必要時自動控制接觸劑量、劑量率和斑點大小驅動。KARL SUSS Gamma還設有一個集成烤箱，通過控制曝光溫度來提高曝光分辨率。伽瑪可以用於多種微加工過程，如光刻、蝕刻、濺射和平面化。應用於晶片表面的光刻膠層可以手動或使用自動清洗系統移除。另外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma可以用於在應用新的光刻膠層之前去除光刻膠層。集成對齊模型可確保在應用多層光刻膠或執行曝光校正時的高精度和重復性。MICROTEC Gamma還配備了先進的軟件套件，使用戶可以分析曝光的數據並存儲結果供將來參考。軟件還可以檢測曝光問題，並自動校正光刻過程中的各種問題。總之，KARLsussGamma是高精度微加工工藝的理想光刻設備。它提供了廣泛的功能,使用戶能夠通過經濟高效的設置獲得優異的效果。自動晶片加載系統、集成烤箱、強大的軟件套件和自動控制為先進的光刻應用創造了理想的組合。
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