二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293617131 待售
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ID: 293617131
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2010
Developer system, 6"-8"
(2) Port cassettes
(3) Developer units
(5) Hot plates
(2) Cold plates
2010 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種光抗蝕劑設備,能夠產生各類微結構的高分辨率和精確模式。它可以用於多種應用,包括制造電子電路、MEMS和光電元件。該系統由一個掩碼對準器、一個小型處理器和一個等離子體激活的濕蝕刻模塊組成。掩模對齊器保持光掩模,並在步進平臺上執行光刻圖樣處理,並允許在基板上精確對齊掩模。小型處理器從光掩碼接收圖樣數據,並對其進行處理以在基板上創建光刻膠圖樣。等離子體活化濕蝕刻模塊用於蝕刻和去除基板的裸露區域。MICROTEC Gamma單元提供用戶對過程參數的控制,如曝光劑量、照明模式和曝光時間。這些使過程變量的優化能夠產生高分辨率和精確的圖案線和特征。該機配備了高精度鏡頭、高度直觀的用戶界面以及使用戶能夠設計圖樣和調整參數的軟件。KARL SUSS Gamma工具提供了廣泛的功能,使其成為印刷電路板、MEMS和光電元件制造等應用的適當選擇。它通過提供高度精確的陣列生成和對齊過程,幫助減少與制造過程相關的時間和成本。伽瑪資產設計可靠,易於操作,使用戶能夠快速輕松地創建高質量的微觀模式。它可以在各種溫度和濕度條件下使用,並可提供各種工具,幫助及時和經濟高效地制定復雜的模式。該模型非常適合在各種各樣的基板上創建復雜的微觀模式,使其成為制造應用的絕佳選擇。
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