二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293745413 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種光刻設備，用於微電子和電子工業的光刻應用。它包括一個數字步進系統，真正的1微米對準，一個實時定位單元，一個可編程級和先進的光學。MICROTEC Gamma可以將3維圖案和形狀精確地暴露在熔融二氧化矽、石英、聚酯和聚碳酸酯等基板上。它旨在減少完成所有光刻作業所需的時間。KARL SUSS伽馬機采用高分辨率的步進重復曝光技術。這項技術包括在臺階和重復板之間移動基板和可垂直調節的投影透鏡。通過控制基板相對於透鏡的位置，基板的表面被精確地暴露出來，同時保持對圖樣的精確定義。步進工具通過軟件控制，在基板表面露出圖案時提供精確的對準和準確性。該資產還配備了高分辨率模式發生器和計算機自動暗室，其中包含所有必要的工具，包括顯影器、熱板、顯影劑、蝕刻、旋轉塗料和噴射。這項技術消除了手動制備光刻膠溶液的需要，使用戶能夠快速準確地完成光刻過程中的所有步驟。伽瑪還配備了先進的光學器件，如光絲子、深紫外線鏡頭、1024 x 1024像素CCD相機和掃描電鏡（SEM）模塊，使用戶能夠對樣品表面進行詳細檢查。這些先進的光學器件提高了模型的分辨率和準確性，擴大了其應用範圍。總之，KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻設備是一種高效、精確和堅固的光刻工具，能夠將復雜的圖樣精確地暴露在各種基板上。其先進的光學和步進系統確保了準確和可重復的曝光，而其自動化功能為微電子應用提供了節省時間、經濟高效的解決方案。