二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293778062 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種用於制造微電子和光學元件的光阻設備。它設計用於同時處理多種光刻膠類型和過程，同時在蝕刻過程中提供高精度和重復性。"MICROTEC Gamma是一種多功能一體的DL-2Y光刻系統,它結合了極透明和耐化學的DL-2Y光刻膠,這兩種材料通常用作光刻和幹蝕刻的掩模。DL-2Y光致抗蝕劑是聚合物基的，因此可用於光學和X射線顯微光刻。KARL SUSS Gamma單元提供了光刻塗層和開發的自動化解決方案。這消除了手動應用程序的需要,並且對光刻膠層厚度提供了更高程度的控制。該機提供懸臂式自動晶片裝載機，包括先進的硬件接口，允許靈活控制材料分布和光刻預烘烤參數。內置掃描頭可提高對準精度,精度高達+0.1 um。此外,Gamma工具還具有高分辨率數字成像資產,可提高圖像可視化的準確性。KARL SUSS/MICROTEC Gamma利用兩級加熱和冷卻模型實現理想的光敏固化和開發。它還具有集成的提升銷,用於在蝕刻過程中精確放置光刻膠掩模。雙密度PTFE塗層輸送機可以方便地從腔室裝卸晶片。MICROTEC Gamma為直徑、塗層厚度和薄膜材料提供了多種選擇,使其可用於特殊任務的高度定制。最後，KARL SUSS Gamma設備采用先進的背光觀察系統，便於檢測和檢查缺陷。它還采用直觀的圖形用戶界面設計，極具用戶友好性。使用Gamma光致抗蝕劑單元，操作員可以將光致抗蝕劑開裂、邊緣滾落和臨界尺寸損失降至最低，從而產生優質的微電子和光學元件。