二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293798807 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種為微加工和納米加工工藝而設計的光刻膠設備。該系統使用投影光刻技術將圖樣從掩模傳輸到基板。可用於在微米和納米尺度上以尺寸精度開發光刻膠圖案。該機裝有紫外線（UV）光源和照明用光學器件。這包括198 nm準分子激光器、157 nm氟激光器和一組可變數值孔徑（NA）。它還可以使用g線（436 nm）、i線（365 nm）、深紫外線（248 nm）輻射或光波長組合來拓寬曝光光譜。這臺機器具有先進的曝光和陣列設計能力,包括自動晶圓對齊器、對齊標記、精確移動工具、全場可編程強度調制、自動對焦和自動刷新功能以及重新定位階段。它還允許曝光平移（移位）和高分辨率成像的圖樣光敏區域。MICROTEC Gamma是以標準臺式格式構建的,它提供了帶加熱旋轉盤的光刻材料的方便濕法處理。此外，資產可以很容易地整合到以真空為基礎的清潔平面幹燥處理環境中，以創建多層結構和納米印刷品工藝。KARL SUSS Gamma為微觀和納米技術領域要求最苛刻的項目提供高精度圖樣的吞吐量和穩定性,從而開發出尺寸為幾納米到幾微米的特征。這確保了制造的部件將是精確的，並具有適合各種技術的特性，如MEMS、傳感器、光電和生物醫學設備。此外，該車型在真空室內設有廢物收集設備、網絡連接和保護玻璃窗。最後，功能強大的用戶友好軟件Suss MICROTEC Premiere™允許用戶快速輕松地創建掩碼，導入數據，並自動記錄每次曝光的詳細信息。