二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293807081 待售

KARL SUSS / MICROTEC Gamma
ID: 293807081
晶圓大小: 6"
Spin coater, 6".
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種先進的光阻處理設備,旨在促進晶圓和其他基板上的精確無缺陷沈積。該系統利用光學和光聚合技術的最新進展,在各種底物上實現精確的圖樣分辨率和均勻沈積。MICROTEC Gamma具有高分辨率的光學子系統,使用戶能夠準確、重復地實現具有卓越分辨率和精確模式的模式。利用二維微光器件,該裝置可沈積具有亞微米分辨率和大面積沈積無與倫比的均勻性的光致抗蝕劑。通過將光學子系統與先進的晶圓傳輸機耦合,進一步提高了刀具在眾多基板上傳遞精確均勻沈積的能力。該資產還配備了最先進的潔凈室界面和環境控制模型,使用戶能夠實現最大的潔凈室兼容性,同時最大限度地減少顆粒汙染和照片損壞。KARL SUSS Gamma光刻設備除了具有高度先進的光學和潔凈室兼容設計外,還具有先進的晶圓粘附技術。專有的粘合劑化學使系統實現了光刻膠的優越附著力、高均勻性和低溫熱穩定性。這使用戶能夠創建最高質量的圖樣,並最大限度地減少傳統旋轉塗層工藝可能遇到的光刻膠粘附失效風險。總體而言,Gamma光阻裝置為高精度陣列應用提供了先進的技術。憑借其高分辨率的光學子系統、先進的晶圓傳遞機和專有的粘合化學,該工具為各種基材提供了最高水平的均勻性和無缺陷沈積。KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻膠資產利用光學、光聚合和潔凈室兼容性方面的最新進展,為工程師和技術人員提供了一個強大而可靠的工具,用於精確且無缺陷的沈積和陣列。
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