二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293814499 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種設計用於高分辨率微加工的光阻設備。光致抗蝕劑是一種感光材料，用於在基板上創建圖樣以進行微加工。MICROTEC Gamma系統采用高精度光纖照明裝置,能夠精確定位和曝光各種具有高分辨率圖像的光刻膠。這臺機器還具有一個內置的預對準級，它允許基板被精確地定位在鏡頭前的曝光過程。KARL SUSS Gamma工具非常適合單層光刻工藝和使用多層抗蝕層的多層工藝。它能夠使用不同類型的抗蝕劑（包括標準抗蝕劑、負抗蝕劑和正抗蝕劑）生成特征大小從10微米到小於一微米的圖樣。Gamma資產具有模塊化設計,允許根據應用程序使用不同的板尺寸和不同的光刻配置。KARL SUSS/MICROTEC Gamma模型也極為精確和可重復，使得產生高精度和可重復性的模式成為可能。MICROTEC Gamma設備的曝光過程可以用多種參數控制，包括曝光時間、燈功率、波長和聚焦位置。這使得該系統適用於應用具有高分辨率和圖像可重復性的模式。KARL SUSS Gamma單元的一個獨特特點是它的焦點移動控制，它允許在曝光時對焦點位置進行準確和可重復的監控。這有助於避免由於聚焦不正確而導致圖像模糊,並確保分辨率最高的圖像。伽馬機還包括一個Peltier效應冷卻工具，在暴露過程中精確精確地控制抗蝕層的溫度。這有助於避免抵抗粘度的不良變化，從而提高模式的分辨率和可重復性。此外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma資產還包括多種其他功能以方便其操作，如光學檢視器以檢查遮罩支架和基板、可編程自動對焦跟蹤模型以及控制曝光時間和其他參數的「計時器模式」程序。總體而言，MICROTEC Gamma設備是高分辨率微加工的傑出光刻系統，為要求最苛刻的應用提供了精確、準確和可重復性。