二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9284546 待售
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ID: 9284546
(2) Coater / (1) Developer system / (1) HDMS / (3) HP / (1) CP, 12"
Si Wafer, 8"
Coating uniformity: < 1.0%
Spin RPM: 0 ~ 6000 RPM
Maximum accuracy: 1 RPM
Acceleration: 10~30000 RPM/S
Temperature range:
3-HP: 60~250°C (±0.5)
CP: 20~25°C (±0.2)
HMDS: 60~200°C (±0.6)
2011 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種設計用於高精度微結構應用的雙光束光刻設備。它能夠對直徑達200毫米的基板進行平版印刷，分辨率可降至幾納米。MICROTEC Gamma利用高分辨率步進光學器件產生保真度非常高、失真非常低的光掩模。KARL SUSS伽瑪由兩個電子束系統組成，一個光掩模發生器和一個曝光系統。光掩模發生器使用電子束在光掩模上繪制特征。繪制特征的分辨率由束的能量、束的大小和束的電流密度決定。然後，這種光掩模被用來生成一個玻璃上的鉻蒙版，它是通過濕蝕刻過程進行圖案化的。曝光單元的工作原理是通過一束聚焦紫外線通過光掩模來暴露基板表面。這種光通過聚焦或散焦光束被非常精確的調制，從而允許非常詳細的特征定義。光的強度由光束的功率決定，這是可調速的。一旦暴露，基材在傳統的基於抗蝕劑的開發解決方案中開發。由於這一開發過程，光掩模上的任何特征和圖案都將被復制到基板上。伽瑪具有多種優點，包括可重復性、分辨率和獨特的特性。其電子束技術通過控制每個特征在基板上的位置和形狀，提高了精度和重復性。該機器的高分辨率光學器件允許10 nm以下的功能分辨率,從而支持高級應用程序。進一步的特點包括先進的拐角和斜坡技術，允許制作完美光滑的光掩角和優化的斜坡，大大提高產量和提高特征保真度。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻工具是光刻工藝的強大而精確的工具。其先進的電子束優化、高分辨率光學以及穩健的開發相結合，使得頂尖的微結構和陣列化應用得以實現。
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