二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9287389 待售

ID: 9287389
System 2009 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是MICROTEC的最先進的光刻設備。光致抗蝕劑系統用於微電子和納米電子器件的制造.MICROTEC Gamma系統是對Microtek UV1單元的升級,提供卓越的分辨率、重復性和可擴展性。KARL SUSS Gamma具有電動直線級和最新的深層紫外線投射光學。這種獨特的光學和舞臺組合允許分辨率高達1 µm的功能,可重復性高達± 1.7 µm。該機使用1x-6倍放大倍率,以確保可伸縮性,能夠生產10 cm x 9 cm薄膜光刻的晶片。伽瑪工具還與多種光敏材料兼容,包括聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、苯並環丁烯(BCB)、希普利1809和AZ技術。KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種高精度、高成本效益的光刻膠資產。其設計允許對傳統光刻可能無法實現的高長寬比特征進行成像。它還為需要快速原型設計或小批量生產運行的公司提供低成本解決方案。該模型是一個獨立的單元,不需要光刻清潔室。其直觀的基於軟件的用戶界面和高級流程控制工具使操作變得簡單和可重復。它還包括自動晶圓居中、失真補償和預對準等高級功能。對於那些需要精確和可重復光刻技術的半導體和納米技術行業,MICROTEC Gamma是一個極好的選擇。其卓越的分辨率、可擴展性和節省的成本使其成為小型生產運行和原型設計的絕佳選擇。憑借其直觀的設計和先進的特點,該設備是滿足各種光刻和微電子制造要求的便捷可靠的工具。
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