二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9299570 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種光阻設備，設計用於處理直徑達250 mm的基板。該系統由一個光掩碼對準器和一個軌道組成。該對準器設計用於高分辨率對準和曝光遮罩和基板的尺寸達250毫米。軌道包含液體處理器和烤箱，分別用於光刻塗層和烘烤。該裝置有步進馬達和照相機，可分別自動控制對準器的操作和對準精度。MICROTEC伽馬機是幹式光刻工藝，進一步分為兩個階段；掩蔽和成像，以及光敏塗層。遮罩和成像階段涉及使用一個光源，該光源通過遮罩定向到基板上。這會導致圖樣化的裸露基板。光致抗蝕劑塗層階段涉及使用液體處理程序用光致蝕劑塗覆基板。液體處理程序通過噴嘴將光致抗蝕劑分配到基板上。隨後用烤箱熱處理塗層底物，以活化光刻膠溶液。KARL SUSS Gamma工具還配備了真空卡盤，使面膜能夠真空接觸到基板表面。這樣可以使遮罩精確對準基板表面，也能在遮罩和基板之間產生均勻的接觸。此外，Gamma資產還提供步進電機控制和提高模型性能的電機查找表。步進電機可精確控制曝光區域,而電機查找臺則有機會控制曝光區域的對準精度。KARL SUSS/MICROTEC Gamma設備還配備了一個圖表記錄器，用於快速準確地繪制整體光刻結果的圖表。總體而言，MICROTEC Gamma是一種高效的光刻系統，旨在滿足現代光刻工藝的需要。該裝置采用了先進的特性，如步進電機、真空卡盤和電機查找臺，使掩模能夠可靠和精確地對準基板表面。這樣可以確保遮罩和基板之間的均勻接觸,從而獲得精確的光刻結果。此外，這臺機器提供了一個圖表記錄器，這使得它容易圖表的光刻結果，允許一個快速和準確的過程文檔。