二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9314869 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一種光阻設備，設計用於制造微電子和光電元件。該系統是用於光刻的自動化多功能工具，提供精確、可重復的結果。適用於最大尺寸150 mm、最小特征尺寸0.2 μ m的扁平基板加工。該單元集成了幾種技術，如抗蝕劑塗層和顯影劑、步進/掃描儀、激光幹涉儀以及圖像和圖樣發生器。機器的元件可以一起工作，用於多種應用，包括超薄膜技術。該工具還提供各種光刻功能,包括灰度、二進制、接觸、接近和重復曝光方案。步進/掃描儀能夠處理從0.5到24毫米的鏡頭到光掩模的距離，對準精度只有幾納米。資產可以生成分辨率高達0.5000 μ m、精度為0.2 μ m的高分辨率圖樣。該模型提供了對抗蝕性塗層厚度、暴露強度和持續時間以及開發時間和條件的精確控制。綜合MST計量設備使用激光幹涉儀檢查暴露在設計基板上的結構。這有助於以最短的停機時間確保可重復的結果,並有助於避免由於未對齊或意外的不規則性而造成的過度返工。該系統還具有用於作業管理、多用戶控制、過程自動化和數據分析的集成軟件包。此軟件可幫助用戶快速輕松地創建、管理和存儲模式,並最大限度地縮短開發時間。此外,該單元還提供了一個增強的高精度圖像發生器,用於各種模式的曝光,並提高了分辨率和準確性。總之，MICROTEC Gamma是一種自動化的模塊化光刻機，為微電子和光電元件的制造提供精確、可重復的結果。它集成了一系列技術和功能,以最短的停機時間提供一致的結果。適用於高分辨率、高精度的應用，並提供用於作業管理、多用戶控制和過程自動化的集成軟件包。