二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9384738 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻設備是一種在先進半導體基板上開發和蝕刻的高精度解決方案。它是一種步進級光刻系統，能夠可靠地、連貫地處理任何類型的光刻膠，包括最新的先進化學放大光刻膠（CAPR）。該單元采用具有高分辨率編碼器的交叉6軸顯微鏡級，提供精確可靠的對準、舞臺運動、多層對準和納米處理能力。這臺步進級機器具有1-500nm的成像功能,支持多種先進的圖樣和蝕刻技術。MICROTEC Gamma允許對包括易碎III-V材料在內的各種半導體基板進行高精度光刻。該工具配有4步「生產和釋放」功能，可快速、方便地開發光刻膠圖樣。其先進的XY階段和曝光資產能夠編程高保真度的密集模式。該型號還配備了廣泛的其他功能，包括能夠在短時間內實現高分辨率掃描，控制沈降特征，以及用於精確熱成像應用的隨機圖樣。KARL SUSS Gamma還包括許多用於精確對準和過程控制的功能,包括實時連續對準和用於精細曝光控制的細孔。設備控制器可驅動多達16個多層堆棧,結果可靠。它還包括各種放大選項,從2倍到300倍,以及用於精確檢查透明和不透明材料的強大的特殊光學系統。此外，通過自動關聯技術和拼貼功能，實現了高精度晶圓對準。除了上述先進功能外,Gamma光刻裝置還提供卓越的安全功能。它利用8通道模式驗證系統，以防止短褲和劃痕，以及全接口蝕刻機精確蝕刻控制。工具先進的空氣過濾資產確保了清潔的工作環境，溫度控制器重現了工藝條件和環境。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻膠模型是半導體加工的強大解決方案。憑借其高精度的特點和先進的安全機制，能夠可靠地、準確地開發出具有極好的重復性和重復性的光刻膠圖案。當然，這種設備是有成本的--但對於那些有嚴重光刻需求的人來說，可能值得投資。