二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9412721 待售

ID: 9412721
Cluster system.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma Photoresist Equipment是一個全面、全自動的光刻平臺,非常適合需要精確放置和精確處理的應用。為滿足微電子和半導體應用的高分辨率需求而開發的MICROTEC Gamma是MICROTEC精心制作的一系列機器中的第一臺,提供最高精度、質量和可靠性。它是為晶圓、半導體材料以及微電子工業中使用的其他基板上的先進薄膜沈積和光刻而設計的。KARL SUSS Gamma配備了智能、用戶友好的人機界面(HMI)。激光引導精密步進電機和機載位移測量系統提供快速、精確的曝光定位。它可以加工尺寸達6英寸的基板,可以精確放置最小曝光面積為0.75 x 0.75毫米的材料。伽瑪提供的分辨率低至0.5§µm,其先進的對準裝置提供高精度對準和曝光,均勻度高達0.05 µm。KARL SUSS/MICROTEC Gamma包含了多項功能,以確保優越的質量和可重復性。它具有微處理器控制的單步曝光模式,具有多種標識模式曝光功能,以及掩碼居中。此外,它還具有實時聚焦和觸摸對齊反饋機器,可提高準確性。MICROTEC Gamma是應用於高精度光刻工藝的理想選擇。它具有很高的穩定性、可靠性和高效率,具有極好的可重復性、準確性和質量.它的高級功能確保了快速可靠的處理,而用戶友好的設計則允許快速的設置和操作。KARL SUSS Gamma確保以最高的質量和精確度完成復雜而苛刻的工作。
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