二手 KARL SUSS / MICROTEC JWS LTC #9289946 待售

KARL SUSS/MICROTEC JWS LTC是用於制造半導體器件的先進光刻加工設備。該系統為光刻、蝕刻和清潔抗蝕層提供了一整套功能。該裝置利用安裝在夾具中的抗蝕劑塗層基板，該夾具暴露於紫外線下。這種光使抗性可溶性分子分解，使下面的表面暴露於蝕刻物中。在此過程中，暴露或「陰影」區域將接受蝕刻，而暴露或「明亮」區域將不受影響。該機器提供精確的曝光參數控制，並設計為工作範圍最廣的抗蝕劑。它對暴露劑量、斑點大小和暴露間距的精確控制確保無論處理哪種類型的抗蝕劑都能獲得精確的結果。除了精確控制曝光參數外,該工具還包括高分辨率成像資產,可實現最佳聚焦,並在大表面積上保持精確的輪廓。這意味著更高的圖像質量和對抗蝕劑表面的精確控制。該模型還設有一個專用蝕刻站，用於精確控制蝕刻參數。這樣可確保每個應用程序的蝕刻時間和配置文件一致且可預測。該設備還設計用於集成用於後蝕刻的強大清潔協議。這樣可以獲得最佳工藝產量。最後，該系統包括一個監控單元，允許在曝光、曝光後烘烤、蝕刻和清潔過程中持續監測基板溫度。這種實時監控確保了最佳的過程控制和性能。總體而言，MICROTEC JWS LTC是一種先進的光刻加工機器，設計用於在半導體器件的制造過程中提供精確的光刻和蝕刻結果。該工具可精確控制曝光參數、高分辨率成像、蝕刻站、可靠的清潔協議和實時監控。