二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 (RC5) #9383649 待售

MICROTEC RC16（RC5）是一種光阻設備，用於將物理微觀結構陣列化為薄膜。這種光致抗蝕劑系統具有一個原位模式對齊器，可以在從幾微米到幾十納米的層上創建定義的微觀結構模式。光致抗蝕劑裝置的設計是為了提供高精度和重復性，允許可重現的結果。模式對準精度為跨75毫米芯片場0.3微米，成像分辨率為1微米。輸出可重復性為0.3微米，機器能夠測量尺寸在0.1到8微米之間的特征樣品。刀具的光刻層厚度在20-180 nm之間，由內置在資產中的精密快門控制。KARL SUSS RC16（RC5）還包括批處理功能，以滿足高吞吐量應用程序的需求。該設備包括一個自上而下的視覺模型，一次最多可獲取25個微觀結構圖像，以及一個用於存儲獲取圖像的內置數據庫。此外,還包括自動點映射和全球曝光,以提高效率和精度。KARL SUSS/MICROTEC RC16（RC5）允許使用中性釋放劑進行正負色調發展。設備提供四種開發方法；濕發育，溶劑發育，幹發育，暴露後烘烤。光刻膠系統在4-40攝氏度的溫度範圍內是穩定的，其設計目的是盡量減少汙染和最大限度地減少噪音，以確保一致的、可重復的結果。綜上所述，MICROTEC RC16（RC5）是一種光致抗蝕劑單元，用於以精確和精確的方式繪制物理微結構圖樣。它的特點可以調節光刻膠層及其可重復性，機器為高通量的應用提供了批處理特性。此外，它還提供正負色調發展，提供四種發展方法，以及無汙染的溫度穩定性。