二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 #293767597 待售

ID: 293767597
Spin coater.
KARL SUSS/MICROTEC RC 16是為微光刻應用而設計的高放大數字光刻設備。該系統非常適合創建精確、精確的定制小規模組件。該單元由一臺90納米分辨率的鋁制電子束掩模掃描儀組成,具有1000毫米深度掃描場和0.5微米分辨率。該機采用了一個集成的5軸顯示舞臺和一個精密的5軸運動工具,為用戶提供了精確引導光束分辨率及其掃描深度的能力。掃描場也是可調的,可以容納高達1mm的深度。MICROTEC RC 16提供掩模的快速批量掃描,並產生可直接用於廣泛光刻應用的數據集,包括微流體、ITO沈積、硬盤驅動器、柔性電子和光電。該資產的用戶友好界面提供了簡單的校準、自動對齊和直觀的用戶界面。此外,該模型還提供實時監控、圖像參數的軟件調整以及對結果的實時分析和反饋。該設備還具有使用集成曝光控制系統精確調整每次拍攝的光斑大小和曝光劑量的能力。這有助於通過控制暴露劑量和增加場均勻性來防止非均勻模式的發展。最後,該裝置先進的光刻膠配方在保持最佳光刻膠特性的同時,提供了優異的附著力和分辨率。這保證了KARL SUSS RC 16產生的模式將持續數年而不會降解。因此,這臺機器可以成為各種商業和研究實驗室的理想選擇。
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