二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 #9383648 待售

KARL SUSS/MICROTEC RC 16是一種先進的光阻設備，以其在各種半導體和MEMS制造工藝中的使用而聞名。該系統使用基於多晶矽的「抗蝕劑」，即暴露於光或等離子體中，這會導致在抗蝕劑內部發生化學反應，從而在抗蝕劑層中形成模式。MICROTEC RC 16單元的工作原理是通過專用投影機將抗蝕層暴露在光線或等離子體中。光打開抗蝕劑的分子結構，使化學反應在抗蝕劑層中發生。通過控制曝光的光強度或持續時間，用戶可以確定在抗蝕劑中產生的模式。在制備階段，將抗蝕劑冷卻到較低的溫度，然後施加到基材上。制備底物後，將抗蝕劑暴露在光或等離子體中，以啟動化學聚合過程。聚合的速率和程度取決於暴露的類型，以及暴露的持續時間和強度。曝光過程導致在抗蝕劑材料中形成成像圖樣，這將成為任何進一步微加工的基礎。在開發階段，圖像是通過清洗或蝕刻去除未曝光的材料而形成的。一旦這個過程完成，基板就準備好進行進一步的微加工。KARL SUSS RC 16能夠產生具有光學質量和高分辨率圖像的微米和亞微米線和空間。該工具還能夠實現高基板通量和高暴露精度。該資產用途廣泛，可用於亞微米光刻和深蝕刻工藝。由於其最先進的特點，RC 16是先進半導體器件制造的理想光刻模型。