二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 MS3 #26117 待售
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單擊可縮放
ID: 26117
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Spin coater, 8"
With GYRSET system
Max substrate size: 6"x6" or 200mm diagonal
Multiple dispense capability: Up to 2 photoresist, nitrogen, solvent line
Maximum RPM: 3,000
Acceleration: 10 to 5,000 RPM/sec
Motorized dispense arm
(2) CYBOR 5026 pump (05026-60-57-52C6-OP-C6-OK)
CYBOR 512 Power supply with 505 controller (will control 1-2 pumps)
CYBOR 5126C Pump
GYRSET system for better uniformity, lower resin consumption
Stainless base cabinet
Resist nozzle autoclean
Cartridge dispense
Bake (hot plate) unit: No
1999 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC RC 8 MS3是一種具有模塊化設計的光刻設備,具有最高的精度和可重復性。該系統采用閉環級運動，可精確定位和處理200毫米以下的各種基板。其電動致動裝置可實現長期穩定。此外，它的可調Z軸允許在基板高度的變化顛簸和光刻工藝。該機采用高性能、風冷的Xe弧燈，預熱時間短，振動低。其特別設計的冷凝器透鏡具有寬的FWHM角，導致基板的照明均勻。該工具的高分辨率顯微鏡的放大範圍為7倍至100倍和遠心光學器件，提供了面罩的精確對準。先進的過程控制，具有晶片到數量的屏幕，是可用的和用戶控制的，提供實時監控的光掩模和晶片對齊。先進的計量學部分及其高度靈敏的光學統一頭提供了先進的過程監控，而軟件可編程掃描速度補償了UV燈輸出和光刻膠曝光之間的串擾。該資產的集成抗攪拌站和電子設備具有全自動抗攪拌、分配和旋轉塗層性能控制功能。MICROTEC RC 8 MS3還具有自動放電裝置，可自動安全地從軌道上去除光刻膠，並具有自動對準功能，便於處理不同的基板。此外，該型號還具有激光安全特性和溫度監測能力，以確保安全可靠的操作條件。KARL SUSS RC8 MS 3也符合國際標準和環境要求，使其非常適合大多數光敏應用。
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