二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9223422 待售

ID: 9223422
晶圓大小: 8"
Spin coater, 8" CT62 Programmable process controller.
KARL SUSS/MICROTEC RC8是一種用於半導體制造工藝的精密光刻設備。該系統在潔凈室環境下工作,提供集成電路(IC)和電子設備中使用的組件和材料。由德國制造商MICROTEC GmbH生產,MICROTEC RC8為工業規模生產帶來先進的光刻技術。該單元由一個真空密封的工藝板(Wafer Chuck)和一個標線表組成,然後用該工藝板裝載尺寸從4英寸到8英寸不等的晶片。這樣可以確保晶片在模式傳輸過程中是安全的。使用一系列透鏡,然後透鏡朝向晶圓收集來自標線圖樣的反射光,用光敏材料覆蓋表面。該機制通過從標線表中連續曝光光和鏡像復制來高效地在每個晶片上創建組件。此外,機器允許可變步進字段,在設置掩碼對齊時提供更大的靈活性。高精度對準能力的唯一集成及其通過衍射和吸收抑制透射光,為IC制造工藝提供了進一步的優勢。與其他系統相比,KARL SUSS RC8還通過其卓越的覆蓋精度來確保成功的模式傳輸過程。它采用獨立的掃描和聚焦字段,以確保在掩模模式對齊中的極致精度。通過將框架緩沖器與激光束測量相結合,該工具通過對照明激光束的測量進一步提高了精度。資產配備了自動晶片跟蹤模型,用於監測過程中所有晶片的最佳位置。通過內置氣體分配系統和機器人晶圓處理程序確保清潔室的連接。這些先進的技術規格保證了用戶在幾乎每一個場合都具有卓越的光刻性能。總體而言,RC 8是一種高度可靠的制造設備,為集成電路(IC)的生產帶來低成本、高性能的光刻能力。該設備采用自動晶片跟蹤和獨立掃描和聚焦領域,能夠生產出質量和壽命都優越的IC芯片,這在目前許多電子制造工藝中被證明是一個極大的優勢。
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