二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9394308 待售

KARL SUSS/MICROTEC RC8是一種為先進的微結構和微光刻而設計的自動光刻設備。它利用一個對齊器和一個曝光頭來在微觀結構的模式上取得非常精確的結果。MICROTEC RC 8有兩步的抗蝕劑紡絲和軟曝光過程。抗蝕劑的旋轉確保了均勻的厚度，之後是軟曝光，控制曝光頭的強度和曝光時間。KARL SUSS RC 8對準器具有高度可調級，旋轉速度高達3000 rpm，用於旋轉光刻膠膜。它還具有激光二極管對準、光電池自動對準、抗蝕劑/烘烤/帶狀控制器和視覺引導系統，以確保圖樣精確對準和轉移到基板上。曝光單元包含曝光時間範圍為0.03至2.75秒、照明功率為10 W/cm2的曝光頭。它還有一個準直鏡，以確保光敏膠片的均勻曝光。該機還具有硬質合金棒，用於精確和可重復的線性運動，以及真空卡盤，在曝光時固定光刻膠薄膜。該工具還具有抵抗預烘烤功能，以準備曝光的薄膜。烘烤室可容納三個樣品支架,預烤溫度可高達175 °C。帶狀/剝離室裝有六個晶片托架，用於從樣品表面剝離和清潔抗蝕劑。這項資產還能夠自動裝卸晶片，並管理高達6英寸的抗彈射擊。RC 8可以加工矽、玻璃、金屬、塑料等多種基材。也可用於制造金、銅、鋁、鈦、鉻等材料的超薄層。該模型廣泛用於制造優質電子器件、光學薄膜和生物醫學應用。這是為高性能和先進的微結構應用而設計的自動設備。