二手 LAURELL WS-650HZB-23NPP/UD3 #9397755 待售

LAURELL WS-650HZB-23NPP/UD3是為化學機械拋光（CMP）工藝中的關鍵生產應用而設計的高性能光阻設備。該系統旨在提高流程一致性和產量,同時減少流程開發時間。它利用真空可調的濕/幹級，以及加熱的基板臺在加工過程中保持均勻的溫度。該WS-650HZB-23NPP/UD3采用專有的光阻技術和機械平臺，以提高拋光效果的可重復性和準確性。內室加壓到有記錄的水平，在操作過程中產生的粒子較低。它具有可調真空和增強緩沖溶液，以確保在基板表面上的最高質量的光敏效果。該WS-650HZB-23NPP/UD3還具有一個高度可靠和精確調節的光刻膠配電器單元，可對每種基材的耐蝕性材料進料速率、濃度和粘度進行精確的獨立控制。此外，這臺機器還提供了一個自旋漂洗幹燥機，在拋光基材卸載之前進行最後的清潔、漂洗和幹燥過程。WS-650HZB-23NPP/UD3的防光工具用戶友好,具有直觀的屏幕、圖形菜單和簡化的控制系統。加工室內的溫度探頭可以隨時監視底物和抵抗溫度。該探頭旨在保持精確的薄膜厚度和溫度,以確保即使在高吞吐量下也能獲得最高的產品質量和一致性。光刻膠技術的應用範圍是由WS-650HZB-23NPP/UD3設備提供的卓越的硬件精度所實現的。該裝置可處理各種基材和各種拋光技術，具有顯著的可重復性和準確性。對於需要高度詳細、精確和一致結果的高端CMP應用程序,此資產是理想的選擇。