二手 LEYBOLD A 1504 #293621527 待售
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ID: 293621527
優質的: 2008
Evaporator
Workstation
Gun
POLYCOLD System
(2) Pumps
E-Beam gun power supply
No plasma source
Power supply
2008 vintage.
LEYBOLD A 1504是一款由LEYBOLD Optics制造的光阻設備，能夠在塑料、金屬、陶瓷等基板上產生高精度圖案。適用於需要特殊加工的細膩基材，如薄或易碎材料。A 1504在正負兩種模式下運行，允許用戶在各種厚度的光刻膠膜中創建錯綜復雜的圖案。光致抗蝕劑是通過使基板暴露於紫外線輻射而在基板表面上形成的。輻射的強度決定了要施加在基板上的光致抗蝕劑的量。LEYBOLD A 1504提供了標準、高分辨率和超分辨率三個級別的模式精度。Standard level提供的圖案尺寸精度為20µm；10µm精度的High Resolution level；以及具有5 µm精度的Ultra Resolution級別。此外，光刻膠系統可用於微米精度高達20 µm的低水平圖樣。1504具有真空裝置和計算機調節的溫度控制功能，可以將光刻膠平滑均勻地塗在基板上。加熱的基板有助於幫助光致抗蝕劑形成均勻的薄膜，而薄膜傳送帶則將基板轉移到曝光單元。在曝光過程中，先進的光學投影系統，連同計算機控制的紫外線燈和個別曝光區域，被用來生成圖樣。該機器具有遠程控制功能,允許用戶配置、控制和監視刀具的操作。該控件還提供了有關每盞紫外線燈的曝光次數、曝光時間和能量輸出的信息。此外，用戶可以監測基板的溫度和均勻性以及暴露圖樣的質量。LEYBOLD A 1504除了具有高精度的能力外，還可以方便地裝載和卸載基板。此資產還可滿足較低的維護要求,並提供較長的使用壽命。因此,用戶可以期望從這種高度先進的光刻膠模型中獲得更少的停機時間和更高的質量結果。
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