二手 LEYBOLD APS 1104 #293618526 待售

LEYBOLD APS 1104是一種光刻設備，設計用於高精度的面罩制作、檢查和計量。它是一個自動化的過程系統，包含一個先進的生產控制單元（APS）和一個領先的光刻平臺。APS 1104使客戶能夠使用先進的精密光刻技術執行標線和掩模的生產和計量過程。這一過程包括旋轉、曝光後烘烤、冷卻和開發光刻膠，以便為隨後的光刻創造一種有圖案的抗蝕劑。整個光刻膠工藝的設計和控制可以在同一個APS平臺上的單個工作流程中完成。該機器采用了最新的光刻技術，如兩步標線拼貼、非接觸/接觸控制、多波長計量和成像以及條形碼跟蹤。它采用直觀的用戶界面設計，使客戶能夠輕松地控制和優化光刻膠的生產和計量。LEYBOLD APS 1104具有可定制的控制工具,可自動優化掩模制作過程,以最大限度地提高生產吞吐量並縮短周期時間。APS 1104還提供了廣泛的標準和定制映像解決方案,包括全套質量控制功能。憑借其高分辨率的蔡司顯微鏡和精確圖像夾層（AIITM）資產，它甚至可以檢測到各類光刻膠中最小的缺陷。此外，該模型還包括掃描電子顯微鏡（SEM），用於原位分析光致抗蝕劑圖樣。再者，作為LEYBOLD組合的一部分，LEYBOLD APS 1104具有RTP、充電、粘結和轉移等優秀的下遊能力。這使客戶能夠快速準確地將其光刻膠圖樣移動到其首選的基材中。綜上所述，APS 1104是為高精度面膜制作、檢驗和計量設計的先進光刻設備。它為客戶提供了對整個光刻過程的直觀控制,包括生產控制系統、可定制的成像解決方案和出色的下遊功能,使其成為高精度蒙版制作的理想解決方案。