二手 LEYBOLD APS 1104 #293794881 待售
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LEYBOLD APS 1104是為在生產環境中控制和自動濕法處理半導體晶片而設計的光阻設備。APS 1104系統是一個采用兩級設計的開放式框架平臺，允許在生產環境中實現最大效率和安全性。它有四個單獨的處理模塊，每個模塊獨立運行，每個模塊都有專用的控件，允許理想的過程控制。該單元的上層由一個輸送機組成，該輸送機將晶片從裝載站輸送到四個處理模塊。傳送帶可以預設，以預定的速度和間隔移動晶片，允許重復和準確的過程時間。機器的下層包含處理溶液罐，每個模塊的工藝室從中抽取溶液。機器的四個加工模塊用於半導體晶片的濕法加工。第一個模塊執行抗蝕劑紡絲過程，將光致抗蝕劑材料施加到晶片表面。第二個和第三個模塊分別進行顯影和植入，而最後一個模塊執行剝離過程以去除光刻膠材料。這四個模塊中的每一個都使用一個由槳葉組成的旋轉滾筒，在一個加工室內運輸晶片，適合同時處理晶片的兩側。工藝桶包含加熱元件和控件，允許精確的溫度設置和工藝控制。LEYBOLD APS 1104還提供了多項內置安全功能。該工具的設計允許從操作員位置進行最大程度的訪問和控制,從而可以從前面板監控整個資產。警報系統和警告燈可以提醒操作員註意油箱溢出的潛在危險或達到操作溫度極限的機器。APS 1104是一款用於自動化半導體濕處理的優秀光刻膠型號，為生產環境提供最大的安全性、準確性和效率。
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