二手 LEYBOLD APS 1104 #9054495 待售

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製造商
LEYBOLD
模型
APS 1104
ID: 9054495
Evaporator Ceramic heaters Planetary tooling, (6) planets APS plasma source 2 EVS14 e-guns Quartz crystal monitoring Diffusion pump Rotary and Roots Polycold and Meissner.
LEYBOLD APS 1104光刻設備是開發光刻應用的多功能強大工具。該系統具有多種功能,非常適合用於從高速到超高分辨率設備的各種光刻應用。LEYBOLD單元的核心是它的光刻膠分發器,設計用來分配具有多種參數的光刻膠。分發器有兩個不同的泵,每個泵提供16個預置調度和刮擦配置文件。這使得用戶可以在沒有額外編程的情況下快速、輕松地生成光刻膠圖樣。分發器還配備了一個劑量控制機器,允許用戶根據其確切規格優化光刻膠的沈積和圖案。光阻頻閃工具專為高速和超高分辨率的應用而設計。借助一個封閉的閃光燈和一個精確的鏡面資產,它可以將光刻膠層精確、快速地暴露在紫外線下。這樣就可以在基板上形成均勻一致的光致抗蝕劑層,然後根據用戶規格對其進行圖樣化。APS 1104型號還可以處理多種不同的蝕刻工藝,以及濕洗和幹洗工藝。有了這些選項,用戶可以輕松地為各種微結構應用創建高度錯綜復雜的光刻膠層。LEYBOLD APS 1104設備設計得非常可靠和高效。它提供了直觀的控制,使其易於使用和調整光刻膠參數。該系統還具有自動減少引物的功能,有助於減少引物的數量,防止不必要的浪費,並確保最高產量。它還有一個自動缺陷檢測單元,幫助最大限度地減少有缺陷的光刻膠圖樣的風險。這有助於提供一致、高質量的結果並降低成本。綜上所述,APS 1104光刻機是一種用途廣泛、功能強大的光刻應用工具。它提供了廣泛的功能和選項,允許用戶優化光刻過程以提高效果。該工具還提供了較高的可靠性和成本節約,使其成為實驗室和光刻膠制造商的理想選擇。
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