二手 LEYBOLD APS 1104 #9192878 待售

LEYBOLD APS 1104光刻加工設備是一種多功能、全自動的系統，用於光刻工藝。它專為處理和開發各種類型的光刻膠而設計，效果最佳。APS 1104單元提供了對所有影響最終產物的參數的完全控制，如溫度、濕度、露點、表面活性劑濃度和曝光時間。LEYBOLD APS 1104由一個工藝室、一個用於設置和控制工藝參數的控制單元以及一個開發坦克組成。該機器配有兩個獨立的電磁閥，一個用於溶劑，一個用於表面活性劑，使兩種液體在任何給定時間都能使用不同的比例和濃度。載荷端口包含一個高度精確的腔室溫度傳感器，能夠精確控制加工腔室內部的溫度。這一點很重要，因為光刻膠的性質會因溫度變化而發生顯著變化，因此，控制溫度對於取得一致和可重現的結果至關重要。該腔室還包含溶劑和表面活性劑輸送工具。該資產旨在提供可變的、準確的溶劑和表面活性劑分配，使用戶能夠根據其具體需求控制混合物。加載後，腔室被抽空，由可調節、壓力控制的泵產生真空。通過控制室內真空，可以將混合溶劑和表面活性劑均勻地分布在整個室內。用戶可以配置曝光時間，最多99.99秒，曝光波長。曝光波長可以根據所使用的特定光刻膠和所需的結果來選擇。該型號還包括溫度可調的熱板。這可以用來產生熱量，這有助於加速光刻膠的固化過程。該熱板還具有強制空氣冷卻設備，可防止在開發過程中出現熱點。最後，APS 1104包括了一個開發坦克，配備了磁耦合攪拌器。這保證了光刻膠的均勻和一致的發展。顯影後，用可編程、可調介質噴嘴沖洗幹燥。這有助於確保光刻膠幹燥而不會過熱或過度幹燥。LEYBOLD APS 1104因此是大規模生產光刻產品的理想選擇。