二手 LEYBOLD APS 1104 #9203831 待售

製造商
LEYBOLD
模型
APS 1104
ID: 9203831
優質的: 2000
Evaporator OMS 3000 (2) E-guns Materials deposited: TiO, NbO, SiO2 Head quartz: 2 x 6 2000 vintage.
LEYBOLD APS 1104光刻設備是由德國工業設備制造商LEYBOLD Optics GmbH開發的現代、計算機控制的濕蝕刻系統。該單元利用強大的光學器件來照亮光抗蝕劑層,並實現多種處理模式,包括旋轉塗層、噴塗塗層、曝光和顯影。該機支持多種光刻材料,包括低粘度和硬質光刻膠,使其既可用於小規模加工,也可用於多層圖案。APS 1104使用戶能夠輕松快速地為各種應用程序編程該工具。采用高性能步進電機,快速、準確地精確定位和加工光刻膠。該資產還具有嵌入式微處理器,可減少設置時間並簡化參數管理。該模型還支持廣泛的基材材料。它的設計使它能夠處理標準和高級基板,如激光和光纖,使其適合各種苛刻的應用。可供設備使用的光阻材料非常耐用,對基板具有良好的附著力。為確保精度,LEYBOLD APS 1104配備了先進的光學系統。這樣可以確保高質量和可重復的曝光,並具有一致的陣列處理結果。該單元還支持一系列可編程的曝光參數,使用戶能夠根據基板的確切要求調整曝光時間和強度。該機與使用最廣泛的實驗室工藝兼容,如自旋塗層和噴塗塗層。該工具可以快速輕松地設置和調整用於各種應用的速度、時間和塗層。此資產還配備了高級安全功能,可安全用於實驗室環境。最後,嵌入微處理器可以方便的操作和無故障的維護。可為各種不同的應用程序和過程快速、安全地重新配置模型。APS 1104是一種可靠、高效的光刻設備,可為用戶提供快速、精確且易於編程的結果。
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