二手 LEYBOLD APS 1104 #9287235 待售

LEYBOLD APS 1104是一種高精度光刻設備,旨在為生產先進電路板和微系統提供可靠且經濟高效的結果。它配備了先進的系統架構，包括高效的光刻塗層工藝、精確的曝光以及高效的烘烤和開發。APS 1104采用4軸機器人和微分配泵的組合，在基板上應用光刻膠和自旋塗層。該精密單元有助於保持精確且可重復的薄膜均勻性和厚度,公差僅為+/-5%。機器的自動化和手動操作都是可能的。通過微微剝離、水剝離和等離子體蝕刻技術的組合，可以精確去除暴露和顯影的光致抗蝕劑。該工具還具有真空卡盤沈積工具，能夠進行後處理、基板成形、薄膜分離和缺口蝕刻，從而形成復雜的亞微米結構。LEYBOLD APS 1104可用於對由多種材料組成的剛性和柔性基板進行圖樣化，如玻璃、塑料和各種合金。此外,它還能夠對最小線寬僅為0.7um的精細結構進行陣列化。為了將維護成本降至最低,APS 1104采用了用戶友好和直觀的軟件。高端多通道脈沖源和傳感器保證了最高質量的結果和低暴露劑量。它的模塊化設計允許定制配置以滿足特定的用戶要求,其透明室設計確保了一致和可靠的結果。總體而言,LEYBOLD APS 1104為高級電路板和微系統提供了可靠且經濟高效的開發和原型設計解決方案。