二手 LEYBOLD APS 1104 #9308995 待售

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製造商
LEYBOLD
模型
APS 1104
ID: 9308995
Evaporator High Voltage Power Source (HVPS) (2) OMS3000 Insitu-photometer optical monitering systems POLYCOLD PFC-1101 DIP 12000 LEYCOM Diffusion pump D65B-WS501 Pump Q-Sensor crystal controller (2) EB Guns ESV14 APS-SF Source Vacuum chamber Power supply cabinet (2) Cabinets (2) IO Cabinets.
LEYBOLD APS 1104是一種光刻膠設備,設計用於玻璃基板、矽片、有機聚合物薄膜等光刻膠和基板。它非常適合制造集成電路、平板顯示器和光電器件。APS 1104能夠將受控層的光刻膠沈積到所需的基材上。它采用了多級抗噴射技術,以確保精確、均勻的抗噴射覆蓋。根據所需的層厚度,容易調整抗噴射系統。此外,該裝置還具有可調節的噴嘴尺寸,用戶可以控制阻抗流速,從而實現所需的沈積。此外,該單元還包括一個集成的機器自動阻擋流量和模式.LEYBOLD APS 1104還具有智能直觀的硬件和軟件界面,允許用戶使用分辨率、曝光時間和模式大小等參數對工具進行編程。這使得資產具有很高的適應性和易用性。APS 1104由一個基本單元、抵抗源、抵抗噴頭、電源和軟件模塊組成。基地單元容納了主要的運行機制如抗蝕劑分配機制、噴頭、電源和軟件模塊。抗蝕劑源含有抗蝕劑,設計為能夠處理均勻精確的層厚度。抗蝕劑噴頭設計用於將預編程的抗蝕劑量精確地輸送到指定的基板上。電源用於提供操作模型所需的電源。最後,軟件模塊用於創建定義設備參數的預定義設置。總體而言,LEYBOLD APS 1104是在各種基質上進行光敏沈積的理想系統。它旨在提供精確、均勻的抗蝕劑覆蓋範圍,軟件模塊可確保易於編程。
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