二手 LEYBOLD APS 904 #9240499 待售

LEYBOLD APS 904是一種光刻設備，設計用於將感光材料暴露在基板上，用於光刻和裝置制造。它提供亞微米分辨率特性、高精度、以及使用鉻、氙或鎳基抗蝕劑工藝的幹凈邊緣輪廓。APS 904是利用數字成像技術進行光刻應用的最先進的系統。這個單元可以將影像印在小至0.3µm的基板上。為了達到這種分辨率，機器利用光源通過分束器，進入多級光學投影工具來維持垂直的輸出光束。成像是通過對光束進行數字聚焦，然後通過計算機控制的鏡片和鏡片來完成的。這些被排列成基板上投影物體的虛擬圖像。LEYBOLD APS 904具有雙直列光刻資產。該型號利用特殊的超低吸收性玻璃，光學密度大於1.45，有效降低「背景」曝光水平。設備具有可變的重復率，可從0.5秒以0.1秒為增量調整為1秒。這樣可實現精確的平版印刷並提高吞吐量。此外，APS 904還有半自動化的機載粒子檢測系統。這個單元的特點是使用人工光，允許懸浮在空氣中的粒子被診斷出它們的大小和位置。如果檢測到過多的空氣傳播粒子，機器可以被編程為停止光刻工具，從而提高光刻過程的安全性。LEYBOLD APS 904還配備了雙級、低真空資產來控制塗層和附著力。雙級真空模型由一個粗加工泵和一個按順序工作的分子泵組成。這樣可以確保有效地清除滯留氣體,從而創造一個非常幹凈的真空環境。總體而言，APS 904是一種可靠和精確的光刻設備，能夠以安全和高效的方式產生高分辨率圖像。它對技術的創新利用和獨特的特性使系統能夠很容易地適應不同的光刻應用。