二手 LEYBOLD CCS 250 #293829329 待售

LEYBOLD CCS 250是一種預曝光光抗蝕劑設備，設計用於生產微電路或電子器件元件的精確可靠的儀表阻擋口罩。該系統非常精確，在生產前利用幾個光學和電氣傳感器檢查光敏面罩的質量。CCS 250的開發是為了簡化和簡化光刻膠口罩的掌握。蒙版可以使用CAD單元生成,也可以手動使用細筆尖筆生成。然後使用光學和電氣傳感器的組合檢查掩模。光學傳感器檢測整個掩模表面是否存在光阻，而電氣傳感器檢測掩模某些區域的電導率。如果光學或電氣傳感器讀數有任何異常,LEYBOLD CCS 250將提醒用戶並提供詳細的錯誤信息,以便糾正問題。一旦掩模通過初始檢查，就被放置在光刻機的XY級。CCS 250的XY階段是該工具的焦點。它允許對掩模尺寸和其他光學特性進行自動、精確的測量。舞臺由一系列四臺直流電動機提供動力，舞臺的運動由控制器卡精確控制，控制器卡也作為所有位置和錯誤數據的數據記錄器。LEYBOLD CCS 250能夠精確測量蒙版材料的電阻率，自動調整曝光過程，使最終的蒙版質量優良。模型中包含自動對焦資產,可確保掩碼精確聚焦。該設備還包括一個裝有口罩的數據庫，以確保類似的光刻口罩產生可重復的結果。總體而言，CCS 250是一種預曝光光刻膠系統，設計用於生產微電路或電子器件元件的光刻膠掩模的精確可靠的計量。在使用自動對焦機精煉電阻率之前，該裝置利用幾個光學和電氣傳感器檢查光敏屏蔽的質量。它還包括一個加載的掩碼數據庫，這樣可以實現可重復的結果。