二手 LEYBOLD CCS 250 #9236185 待售
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已售出
ID: 9236185
優質的: 2000
Coater
Controller racks:
Electron gun
Turbo pump
Ion source: Mark 1
INIFICON XTC Thin film decoration
POLYCOLD PFC 552 HC Cryogenic refrigeration unit
REGLOPLAS 90 Smart temperature control unit
KELVI PLAST WKL 8-HS Chiller
Cooler eco refrigerazione FCE
Computer
Includes:
Water-cooling system
FERROTEC POLYCOLD Cryo generator
Does not include computer monitor
Line voltage: 3x400 V, 3 Phase, 4 wires
Frequency: 50 Hz ± 2% / 60 Hz ± 2%
2000 vintage.
LEYBOLD CCS 250是一種最先進的光刻設備,用於在矽片表面創建受保護的編碼圖像和圖樣。CCS 250提供了最大250毫米基材尺寸的全覆蓋,允許在多個晶片上產生大的、均勻的圖樣。系統配備了開發者、預烤、後烤三個工藝模塊。顯影劑模組是一個濕處理顯影劑,不間斷地洗去基板上的光致抗蝕劑殘留物,留下一個幹凈、精確的圖案化表面。預烤模組利用熱處理來增加光敏膠膜對基板的附著力。最後,後烘烤模組利用短的紫外線活化步驟來固化晶片上的光敏塗層。LEYBOLD CCS 250的編程接口允許用戶輕松準確地編程操作設置和操作模式,包括模式寬度、分辨率、曝光時間和後處理。CCS 250的先進設計以具有獨立高性能Lambertian發射器的四結光室為特色。這允許精確選擇和控制光刻膠處理所需的光,範圍從通信到醫療、光學、顯示、微型裝配、精密零件和平板顯示元件。LEYBOLD CCS 250具有先進的過程控制功能,如自動自我診斷、測量整個光刻膠處理過程中殘留物的積累以及在線監控過程參數。這樣可以確保在每次運行中都提供最佳性能。CCS 250還提供了卓越的基板保護,包括液體光敏溫度控制單元和氮等離子體覆蓋機,以實現完整的基板保護。這樣可以確保基板表面在處理過程中不會損壞。最後,LEYBOLD CCS 250可提供無與倫比的過程穩定性、生產率和靈活性,以滿足客戶的需求。該機器具有可擴展的設計,允許添加許多可選組件,例如顏色模式識別、內存掃描等。綜上所述,CCS 250光刻工具是一個先進的、最先進的平臺,用於在矽片表面創建受保護的編碼圖像和圖案。它提供卓越的基板保護、更高的工藝穩定性以及前所未有的靈活性,以滿足客戶的要求和應用。
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