二手 LEYBOLD HERAEUS 2450C #9152147 待售

LEYBOLD HERAEUS 2450C光刻設備是一種先進的蝕刻和處理系統，提供先進半導體器件的光刻圖樣。它是一個緊湊的自動化單元,利用兩級群集配置,在4英寸晶片上實現雙面掩碼陣列,並可以通過接觸和接近對齊方式進行曝光。2450C利用行業標準的PCS和CMPprocessing工具來提高流程的準確性和可靠性。一種業界領先的、精確劑量的機械晶片對齊機，確保了上下晶片兩側暗場叠加的準確配準。具有6軸光束控制功能的液晶成像監視器可提供最高的分辨率和增強的對比度,以滿足要求苛刻的光刻作業。LEYBOLD HERAEUS 2450C在光敏處理的許多關鍵領域提供卓越的性能。它具有一個溫度控制的真空板，保持恒定的溫度和附著在基板上。該工具還配備了自動曝光和開發使用高級算法提高產量的流程。它的大型自動分配頭將光刻膠精確分配到晶片上，以實現統一的開發和優化的工藝結果。2450C還具有一個集成的旋轉塗層，它能夠精確地控制光敏塗層並去除後塗層上的抗蝕性碎片。它的綜合軟件包是為了可編程性而設計的，可以用來儲存配方和過程參數，以更有效的處理。而且，LEYBOLD HERAEUS 2450C支持雙層圖樣、多層圖樣、頂層和底層圖樣、抗條、反應性離子束蝕刻等先進光刻工藝。它還支持電氣超壓預防和O2等離子體蝕刻等先進功能。該資產的設計具有極大的靈活性，可以升級以滿足最苛刻的光刻膠處理應用的需求。利用其最先進的功能集和性能,2450C是一種可靠而強大的光刻膠模型,即使是最復雜的制造過程也能得到有效支持。LEYBOLD HERAEUS 2450C是任何需要精密光刻設備制造的電子實驗室的重要資產。