二手 LEYBOLD HERAEUS A 1100 #9109459 待售

LEYBOLD HERAEUS A 1100是用於精細光刻加工的先進光刻開發設備。該系統旨在產生具有極高重復性的高精度特性。LEYBOLD HERAEUS A1100單元的特點是具有光學元件的掃描儀，稱為可曝光波長範圍（ER），以高達每秒三千微米的可調速度運行。它能夠控制和調整照明角度、焦點、曝光持續時間和快門速度。它具有精確對準梁重叠的特點，使機器能夠產生高精度、窄線寬的高級圖案。該工具能夠在不同尺寸和形狀的不同基板上工作。該資產還采用安全準確的激光對準模型進行計算機控制的對準。設備可以配置為手動或計算機控制的對齊方式,從而實現更高的自動化水平。該系統是晶圓光刻的理想選擇，因為它在大面積的精確光束重叠。1100單元對光刻膠使用兩步開發過程。第一步是根據給定的要求，光致抗蝕劑暴露於紫外線或X射線輻射源。通過這種方式，使光刻膠材料的裸露部分硬化。開發過程的第二步涉及使用顯影液。這種顯影液溶解了光致抗蝕劑的非硬化部分，但使硬化部分保持不變。通過這種方式，用戶能夠創建圖樣化的光致抗蝕劑表面，從而準確地再現所提出的圖樣。A1100臺機器有許多特點和優點。其中一個最重要的優點是它能夠產生高度精細的具有極其精確特征的光掩模。此外，該工具能夠自動對準元素，以便對基板進行精確的掩蔽和直接暴露。擁有快速、穩健的處理能力，資產適合大批量生產作業。所有這些特性使得LEYBOLD HERAEUS A 1100模型成為光刻的理想工藝。