二手 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9054497 待售
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ID: 9054497
Pump
Rotary / Roots / Diffusion
Meissner and Polycold
Mark II Ion source
Single e-gun with 8-hearth crucible
Quartz crystal monitoring
Segmented dome substrate carrier.
LEYBOLD HERAEUS ARES 1100是一種高精度的微加工設備,用於光刻加工等制造工藝。該設備提供高精度的蝕刻和沈積能力,以及準確的過度塗層工藝。ARES 1100系統采用光電控制單元,能夠蝕刻和塗覆各種基板。它能夠加工尺寸不超過4.7英寸、邊長不超過20毫升的基板。該機器配有集成的自動化晶圓處理工具,還具有閉環光掩模評估資產。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100使用公司獨特的光學增強混濁氣相沈積(OMVD)工藝進行蝕刻和塗層材料。這是一種獨特的蝕刻和沈積技術,能夠在各種微型和精密加工應用中精確沈積專用薄膜。該型號配有先進的光學控制設備,以確保精確準確的蝕刻和塗層公差。該系統還帶有多種其他功能,如定制的光掩模設計,可用於在基板上蝕刻精美的復雜圖案。它還提供了一種氣流選項,可用於清潔基板,防止蝕刻和沈積過程中的汙染。ARES 1100單元還能夠在蝕刻和沈積過程中測量實時特性,從而實現更快的周轉和高質量的機器性能。該工具的額定處理速度為每小時30個晶片,具有精確溫度控制等功能。總之,LEYBOLD HERAEUS ARES 1100是一種先進的精密加工資產,用於光刻加工和其他蝕刻塗層應用。該模型提供了高度精確的過度塗層、沈積和蝕刻功能以及自動晶圓處理。該設備還能夠測量蝕刻和沈積過程中的實時特性,從而實現更快的周轉和高質量的結果。
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