二手 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9055005 待售

LEYBOLD HERAEUS ARES 1100是一種全自動和可編程的光阻自旋塗層設備，旨在協助生產精密的抗蝕劑元件。該系統采用ARES 1100塗層和制備概念,以確保盡可能高的塗層質量。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100配備了基站吸塵器、主塗層室、預清潔室和後清潔室。其設計使光刻膠、聚酰亞胺、激光抗蝕劑和其他材料能夠在晶片、基材和其他元件上進行精密塗層。ARES 1100機采用精密塗層和制備概念，具有自動工藝控制、時間控制沈積循環、集成工藝監控、集成計量監控、窄抗體系結構設計、先進抗轉移技術等幾個獨特特點。該工具旨在提供可重復、高質量、厚膜的光刻膠、聚酰亞胺和激光抗性塗層，結果一致且可重現。此外，這一資產還為用戶提供了幾個額外的好處。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100具有沈積材料厚薄膜和薄膜的能力,可以覆蓋厚度為0.2um和厚度為100 nm的晶片。模型的主塗層室還可以容納多種晶圓形狀和大小，包括3「晶圓、4」晶圓、6「晶圓和8」晶圓。此外，綜合工藝和計量監測提供了沈積過程中晶圓厚度和附著力的實時監測。與傳統的自旋塗層方法相比，ARES 1100顯著縮短了加工時間。它還允許用戶精確控制晶圓的大小和形狀，並能夠快速準確地沈積精確的薄膜厚度。最後,由於這種自動化設備的功能,無需手動調整,因此非常適合在大批量生產環境中使用。