二手 LEYBOLD HERAEUS ARES 1350 #9228483 待售

LEYBOLD HERAEUS ARES 1350是一款設計用於微電子生產的高端高精度光刻幹蝕刻設備。該系統利用先進的光刻工藝的獨特組合，包括先進的光刻技術，在晶片上以低至1微米的分辨率制造出難以置信的微小和復雜的圖樣。該裝置具有多種特點，包括高功率激光照明，能夠有效處理對紫外線敏感的抗蝕劑材料。該機器還可用於使用塗層基板直接寫入圖樣。與其他光刻幹蝕刻系統相比,ARES 1350還提供了業界領先的性能,從而獲得了更好的結果和最高的產量。由於其先進的動態對準工具，使對準精度最大化到微米級，它在提供精確蝕刻工藝方面非常可靠。LEYBOLD HERAEUS ARES 1350資產由加工室和激光室兩部分組成。激光室配有高性能激光源、聚焦輸出光束，以及能夠實現高效直接寫入模式的先進功能。此外，該模型還配備了強大的電子束精細分辨率控制設備（FEB-FERES），以實現更高的精度、更好的控制和更好的工藝穩定性。此外，ARES 1350系統還能夠進行可調節的壓力控制和溫度控制，從而對光刻蝕刻工藝提供更大的靈活性和更好的控制。該單元還設計了高性能的空氣濾清機，保證了更好的作業性能和潔凈室操作。LEYBOLD HERAEUS ARES 1350具有優異的性能,為微電子生產提供了最高的產量。憑借其高精度、強大的控制和高性能激光照明,ARES 1350提供了可靠的光刻蝕刻工藝,從而確保了更短的生產時間、更高的產量和成本節約。